TEM透射電子顯微鏡,電子顯微鏡,TEM顯微鏡分析,宜特檢測
透射電子顯微鏡(TEM)
性能特強的材料分析、可達0.1奈米影像分辨率設備的TEM,將可針對材料之顯微結構、晶體缺點(diǎn)、化學(xué)成分進(jìn)行分析;搭配上EDS、HAADF(ZC)、應力分析等功能,更能得到原子尺度結構與成份信息,解決制程上各種難題。
iST宜特TEM分析四大優(yōu)勢
一、**市場(chǎng)的分析能力:已達5奈米制程節點(diǎn);
二、快速交期:三班制24小時(shí)運作;
三、FEI、JEOL等特高階設備,供您選擇(參見(jiàn)下表);
四、樣品制備能量:八臺業(yè)界特高階FEI Helios 660 Dual-beam FIB設備,搭配解除試片損傷層(離子束能量可低至100 eV)的技術(shù),將協(xié)助您取得特高質(zhì)量TEM影像。
TEM應用范圍:
顯微結構分析(晶格影像)
結晶缺點(diǎn)分析
元素成分分析
薄膜應力分析
電子繞射圖分析
雜質(zhì)及污染源分析
機臺型號/規格
關(guān)于宜特:
iST始創(chuàng )于1994年的中國臺灣,主要以提供集成電路行業(yè)可靠性驗證、失效分析、材料分析、無(wú)線(xiàn)認證等技術(shù)服務(wù)。2002年進(jìn)駐上海,全球現已有7座實(shí)驗室12個(gè)服務(wù)據點(diǎn),目前已然成為深具影響力之芯片驗證第三方實(shí)驗室。
TEM透射電子顯微鏡